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陕西有色光电科技公司氮化硅薄膜沉积工艺取得突破


本文摘要:此前,根据对工艺技术性的艺术创意产品研发和反复试验,陕西有色电子科技有限责任公司太阳能电池板PECVD工艺流程得到 了核心技术提升,产品研发出有沉积三层氮化硅膜的线性拟合工艺标准,电池片转换成高效率提升 了0.07%-0.1%,现引入生产线大批量生产。

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此前,根据对工艺技术性的艺术创意产品研发和反复试验,陕西有色电子科技有限责任公司太阳能电池板PECVD工艺流程得到 了核心技术提升,产品研发出有沉积三层氮化硅膜的线性拟合工艺标准,电池片转换成高效率提升 了0.07%-0.1%,现引入生产线大批量生产。试验结果显示,三层氮化硅塑料薄膜的相辅相成功效对电池片起着了非常好的递减光源实际效果,第一层氮化硅膜薄在10nm上下,折射率在2.4-2.6中间,起着了非常好的浸蚀具有,第二层氮化硅膜薄在30nm上下,折射率在2.0-2.2中间,第三层膜薄在45nm上下,折射率在2.0之内,三层膜系由总体设计可使入射角的自然光在充电电池内数次反射面,仅次水平地降低了对光线的汲取,显著降低了充电电池表层的光的反射,另外,在试验的过程中将三层氮化硅塑料薄膜沉积工艺改成间歇性沉积后,氮化硅塑料薄膜均值等效电路薄厚在80-85nm,等效电路折射率为2.08-2.15,均值透射率降低了2%,相比双层膜的持续性沉积工艺进一步提高了氮化硅膜的顆粒性,提高了氮化硅膜对电池片的浸蚀实际效果,减少了电池片的开路电压和短路容量,进而既显著提高了电池片的转换高效率,又非常大地提升 了本来双层膜工艺经常会出现的偏色难题。电子科技企业充电电池业务部工艺技术性研发部门果断标准化、严格要求的工作格言,讨论太阳能电池板生产制造工艺前沿科技锲而不舍进行自主创新,不断研制核心技术,紧密结合企业具有的现如今国际性光伏产业最技术设备的自动式生产流水线,不断对充电电池生产线各道工艺过程进行工艺提升、产品升级,比如5主栅高效率单/多晶体电池片、没网结技术性引入等,进而促使电池片转换高效率超出中国一流水准,各类性能参数超出业界第一,得到 了世界各国顾客的广泛接受,斩获了较好口碑。

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